京州,南湖实验室。
赵崇明掛断电话,转身对林振邦道:“光刻机,已经运抵上海。中芯国际今天完成验收。”
林振邦一愣,声音微颤:“卖给他们了?那我们自己……怎么办?”
“吕州这边的代工厂还没搞起来呢!”赵崇明耸耸肩:“人员都还是在培训当中,短时间內,证明不了什么,我们还是得让中芯国际冲在前头!”
虽然有建设卡。
但是,人才的培养不是说搞出来就搞出来的。
起码还需要三五个月,那都是明年的事情了。
还是需要杀我誒的展示一下自己的肌肉的。
“我们手里头还有一台,现在我们需要做的就是赶紧开始生產第三台,第四台!”
赵崇明笑了笑,继续道:“同时,下一阶段已在研发28nm甚至22nm,我们都要搞,现在我们的储备足够,真正的护城河不是某一代设备,而是持续创新的能力,现在我们已经是进入到了一个正面循环当中了!”
说到这里,赵崇明顿了顿道:“您老,要不要好好的休息休息?”
林振邦这个级別,基本上都是老古董,国之瑰宝的这个级別,赵崇明也害怕把林振邦给熬死。
“我没事儿!”林振邦哈哈一笑:“我还是等中芯国际出招呢!”
赵崇明微微一笑,不疾不徐的开口道:“我们的目標不是当设备商,而是让中国有製造能力。中芯在上海有最成熟的12英寸厂,有工程师,有客户——把机器放在那里,才能最快形成战斗力。”
“质疑我,接下来,我要他们开始怀疑人生!”
上海,张江高科技园区。
三天后,中芯国际总部。
全球半导体行业屏息以待。
上午十点,中芯国际官网悄然更新一则公告:
《关於38nm工艺平台首批晶圆检测结果的说明》
附件视频中,一台银灰色光刻机静静矗立於无尘车间,铭牌清晰可见:
“handong lithography– model hl-38i”
下方一行小字:“国產自主,汉东智造”。
晶圆表面,雷射微刻著“smicx handong, 2007”的標识,在电子显微镜下熠熠生辉。
检测报告由中国电子技术標准化研究院、国家集成电路质检中心、sgs联合签署:
工艺节点:38.2± 1.1 nm线宽均匀性:
98.7%套刻精度:
2.8 nm(优於行业標准)72小时连续试產良率:91.4%
更关键的是——这些晶片已隨nova青春版pro公开发售。
虽主soc仍採用高通方案,但电源管理ic、快充控制器、nand快闪记忆体主控等12颗核心配套晶片,全部採用该38nm產线製造。
包装盒底部新增一行银色小字:
“关键晶片国產38nm工艺,自主可控。”
……
……
美国加州,圣克拉拉,techinsights总部。
深夜十一点,拆解实验室灯火通明。
詹姆斯·米勒——资深首席分析工程师,叼著半截冷掉的咖啡吸管,把nova青春版pro的主板扔到工作檯上,语气满是讥誚:“又一个『中国奇蹟』?”
“上帝,我真是服了!”另外一个工程师瑞安无奈的开口道:“我们这么晚了,到底在干什么,省省吧。上回汉芯用砂纸磨摩托罗拉晶片,这次怕不是拿台积电废片重新打標。”
他身旁,华裔工程师林哲,正调试电子束显微镜,闻言嗤笑一声:“我老家在苏州,从小听『国產突破』听到耳朵起茧。结果呢?连个像样的示波器都造不好。38nm?別逗了,他们能稳定做出130nm就烧高香了。”
“就是!”
瑞安插嘴,“asml ceo都说中国人连193nm光源都没有,光刻机?怕是ppt造的吧!”
林哲沉默了一下。
感觉有些不舒服。
但是,想想也无可厚非。
国內的大环境的確是这样的。
米勒耸耸肩,戴上防静电手套:“行吧,按流程走一遍。反正客户付了加急费,咱们就当看个笑话。”
他熟练地剥离封装,取出那颗標註“pmic-hd38”的电源管理晶片,放入聚焦离子束设备。
“先切个横截面,看看是不是多重曝光拼的……”
屏幕亮起,纳米级剖面图像缓缓生成。
起初,米勒还漫不经心地敲著桌面。
可三分钟后,他动作僵住了。
“这……这不对……”他凑近屏幕,瞳孔骤缩。
林哲察觉异样,走过来瞥了一眼,笑容瞬间凝固。
屏幕上,多层铜互连结构清晰如画,介电层均匀致密,柵极侧墙轮廓锐利如刀锋——这绝非65nm或90nm工艺能偽造的细节。
“液膜边缘效应……”
林哲声音发颤,“这是浸没式光刻独有的特徵!水浸界面导致的折射畸变……只有真实曝光才会留下这种痕跡!”
米勒猛地调出线宽测量工具。
38.2nm。±1.1nm。
“上帝啊……”他喃喃道,“这不是演示片……这是量產良品。良率至少90%以上,否则不可能装进市售手机!”
瑞安也挤过来,脸色煞白:“可……可他们半年前连duv光刻机都没见过!怎么做到的?!”
林哲死死盯著那行微缩標识——“smicx handong(汉东), 2007”,手指不受控制地发抖。
此刻,他喉咙发紧,几乎说不出话:“这真是……中国弄出来的?”
怎么可能?
之前中国可是从来都没有领先过。
现在忽然间领先了?
这就意味著,中芯国际直接从“落后台积电两代”的追赶者,变为“全球第四家掌握浸没式光刻量產能力”的厂商,仅次於intel、台积电、三星。
不,这还不是最可怕的。
最可怕的是背后的华刻集团。
这个华刻集团甚至都不是赵崇明的公司。
这玩意儿,涉及到国家战略安全、地方发展动力与个人创新激励,赵崇明研发38nm光刻机属於国家意志、省级资源、地方支持与天才个体共同作用的结果。
国家集成电路產业投资基金持股比例百分之四十,控股股东,代表国家战略,拥有一票否决权(涉及技术出口、併购、核心专利转让)
汉东省人民政府通过省投集团持股比例为百分之二十五、第二大股东,保障地方利益,推动“汉东芯谷”建设。
京州市人民政府通过京州科创投持股比例是百分之十,属地支持方,聚焦本地就业与產业升级。
赵崇明个人+技术入股持股比例为百分之二十,首席科学家+cto,享有技术分红权、新项目优先孵化权。
此外,预留了百分之五,是核心团队持股平台,算是员工期权池。
董事长:由大基金委派(副部级干部)
ceo:市场化选聘,现阶段是赵崇明兼任,后期引入职业经理人
cto:赵崇明终身技术负责人,不可罢免
监事会:中科院、工信部、审计署三方派驻
“任何股东不得单独出售所持股份,技术专利永久归属公司,赵崇明若离职,自动触发『技术冻结』机制——其掌握的下一代光刻方案將由国家接管。”